- 快速、准确
- 易于升级
- 光斑可视化
日本HORIBA Smart SE 智能型多功能椭偏仪 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。
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