- 高速、准确
- 完整集成了实时测量、建模和报告软件包
- 便于在线和离线间切换
可获得的信息
- 薄膜厚度
- 光学常数(n,k)
- 材料组成
日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在线监控椭偏仪可以很容易的安装在各类反应腔(PECVD、MOCVD、磁控溅射、蒸镀、ALD和MBE),实时监控薄膜沉积或刻蚀过程。
返回产品中心
可获得的信息
Copyright (C) 版权所有 2023上海亨东仪器有限公司 沪ICP备13038787号-1 友情链接:美国KESTREL京东商城