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日本HORIBA 大面积成像椭偏仪

大面积成像椭偏仪旨在为平板显示和光伏制造提供薄膜测试解决方案。

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大面积成像椭偏仪可实现面板上任意位置的测量。整个系统由DeltaPsi2软件驱动,它为常规薄膜测量提供了保障。DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析,输出报告,以及自动操作的全部功能控制。同时还具有数据导入/导出功能包。

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