大面积成像椭偏仪可实现面板上任意位置的测量。整个系统由DeltaPsi2软件驱动,它为常规薄膜测量提供了保障。DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析,输出报告,以及自动操作的全部功能控制。同时还具有数据导入/导出功能包。
大面积成像椭偏仪可实现面板上任意位置的测量。整个系统由DeltaPsi2软件驱动,它为常规薄膜测量提供了保障。DeltaPsi2软件提供了从测试到建模分析,输出报告,以及自动操作的全部功能控制。同时还具有数据导入/导出功能包。
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