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日本HORIBA CS-600F 光纤型化学药液浓度计

CS-600F 提供适合生产的更高级功能,如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力,减少停机时间的稳定运行,以及提高空间生产率的紧凑尺寸,以满足先进半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。

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功能特点技术参数资料下载使用说明书


  • 尺寸更小,布局更灵活
    CS-600F 浓度计尺寸紧凑,与成熟型号(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,体积减少 40%,样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。
    光源单元和浓度计主机可以远程单独安装,支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。
  • 高温化学溶液(20 至 80℃)的高稳定性在线测量
    新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液,这是先进湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F 稳定性高,实现了更有效和准确的化学药液管理。
  • 背景校正频率显著降低
    与成熟型号(CS-100F1系列)相比,定期校正频率显著降低,这反过来又显著减少了机台停机时间,有助于提高产量。
  • 单台浓度计可测量多达六种化学药液(药液种类或浓度范围)
    单台浓度计可测量多达六种化学药液(药液种类或浓度范围)。可自由指定药液类型和浓度范围,CS-600F 保证满足各种检测要求。
  • 可输出多达六种组分的测量值(串行输出)
    成熟型号(CS-100F1 系列)可输出四种组分的测量值(串行输出)。CS-600F新型号能以串行输出方式输出多达六种组分的测量值。CS-600F型号模拟输出四种组分,而CS-100F1型号为两种。


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