HORIBA STEC 微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F,具备独特冷却测试方式的液体质量流量计，可精确
检测低沸点和高粘度液体的流量，仪器内部进行超洁净处理并符合 RoHaS 环境标准
微小液体质量流量计LF-F
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微小液体质量流量控制器LV-F
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提供超低微小流量检测
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提供超低微小流量控制
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可精准检测低沸点和高粘度液液体
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可精准控制低沸点和高粘度液液体
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抗压性：10MPa
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抗压性：10MPa
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超洁净
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超洁净
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质量流量控制器
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型 号
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LV-F20 (PO/MO)
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LV-F30 (PO/MO)
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LV-F40 (PO/MO)
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LV-F50 (PO/MO)
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LV-F60 (PO/MO)
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全标度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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检测控制
范围
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5〜100% F.S.
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对象液体
种类*1
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可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
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液体
粘度*2
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低于 0.01 Pa·s (10cp)
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精度*3
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±1% F.S.
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直线性*3
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±0.5% F.S.
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重复性*3
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±0.5% F.S.
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响应精度
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3秒以内(T98)
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2秒以内(T98)
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使用环境
温度*4
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5〜50℃(15〜45℃精度的确保)
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温度影响
Span
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±0.1%F.S./℃
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工作差
压值*5
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0.05〜0.3MPa
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耐 压
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1MPa
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压力损失
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ー
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流量设定
信号
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模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
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流量输出
信号
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模拟：0〜5 VDC(*小负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议)
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驱动电源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏
规 格
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PO类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO类型：5×10-12Pa•m3/s (He)
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接液部材质
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PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO类型：SUS316L，Ni
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标准接头
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1/16”，1/8”卡套；
1/8”VCR
1/8”VCR
1/8”VCR
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1/8”SWL类型，1/8”VCR类型
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1/4”SWL类型1/4”VCR类型
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质量流量计
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型 号
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LF-F20M-A
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LF-F30M-A
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LF-F40M-A
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LF-F50M-A
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LF-F60M-A
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全标度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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检测控制范围
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5〜100% F.S.
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对象液体种类*1
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可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外
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液体粘度*2
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不高于 0.1 Pa·s (100cp)
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精度*3
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±1% F.S.
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直线性*3
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±0.5% F.S.
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重复性*3
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±0.5% F.S.
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响应精度
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3秒以内(T98)
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2秒以内(T98)
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使用环境温度*4
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5〜50℃(15〜45℃精度的确保)
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温度影響Span
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±0.1%F.S./℃
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工作差压值值*5
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不高于5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo控制阀)
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耐压
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10MPa (视为流量计)
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压力損失
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不高于 500Pa
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流量设定信号
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模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
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流量输出信号
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模拟：0〜5 VDC ；数字式：RS485(F-Net通信协议)
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驱动电源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏规格
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5×10-12Pa·m3/s (He)
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接液部材质
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SUS316L, Ni
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标准接头
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1/16”，1/8”SWL类型，1/8”VCR类型
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1/8”SWL类型，1/8”VCR类型
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1/4”SWL类型1/4”VCR类型
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*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 *大值，0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
外形尺寸：
400-995-8107
