LE 系列大流量液体源汽化控制系统
LE 系列大流量高效汽化器将通道和加热器元件嵌入铸铝块，确保最大的传热率，并消除冷点和冷凝风险。该液体源汽化控制系统可在高达 300℃ 的温度下运行，IPA（或等效物质）汽化效率可达 30g/min。
特征：
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新设计实现汽化率的最大化
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新喷嘴确保持续稳定的液体注入，实现稳定的蒸气输出浓度
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全不锈钢设计最大限度地提高耐腐蚀性，减少颗粒产生
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适用于多种液体材料
技术参数：
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Application liquid
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H2O/IPA/TEOS/SiCl4
Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here.
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Maximum vaporization volume (gas flow rate)
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H2O : 10g/min (12.4 SLM)
IPA ： 30g/min (11.1 SLM）
TEOS : 50g/min（5.3 SLM）
SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM）
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400-995-8107
