洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
强制送风循环
强制送风循环
氧浓度20ppm、最高工作温度600℃的气氛炉,适用于无氧环境下的高温热处理。
在无氧环境中进行高精度热处理用恒温箱。
操作性高的标准型冷冻干燥机。
电动升降标准装备,提高了操作性的基本型旋转蒸发仪。
经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗。
降低TOC值,满足JIS K0557 A4标准的高性能纯水制造装置。
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