激发系统

XGT-9000 以其精心设计的激发系统保证卓越性能和灵活性，X射线发生器具有高达 50 kV 和 1000 µA 的高输出。 此外可以通过我们多样化的X射线头提供多种尺寸（10μm - 1.2mm）的激发用初级 X 射线，其中就包括超高强度X射线头（probe），以实现快速测量。

光学图像

抓取清晰的图像对于微区XRF至关重要，XGT-9000 提供高分辨率相机，可以获取整个样品及其细节显微镜水平的图像。同时，多种照明模式保证图像的清晰度，即便是透明或有较强反射的样品。

样品仓

XGT-9000 样品仓可容纳各种样品，包括微型碎片、印刷电路板、硬币、薄片、粉末、液体、晶圆，并根据需求提供各种样品架，此外最多可以选择 4 种测量环境来提高灵敏度。

检测器

XGT 9000提供透射和荧光X射线双探测器，透射X射线检测器使用户能够检测样品的内部缺陷和异物，而荧光X射线检测器（配置轻元素检测器）检测范围可从C到Am。

软件套件

功能强大的XGT 9000 软件，包括全面完整的基本测试功能，如单点测试、多点测试、线分析和Mapping测试等。除了基本测试功能外，还可以在软件套件中添加高级模块，以提供更丰富的用户体验。

• 多层FPM模块可以进行厚度测试，有无标样都可以进行
• RoHS检测模块用于RoHS要求的有害元素筛查
• 队列模块自动进行多区域自动测试
• 颗粒搜寻模块可以进行颗粒分析以及原位分析
• LabSpec Link模块，将数据导入到LabSpec 6以进行多变量分析