● 在程序运转时、可进行真空泵连动的自动程序运转。
● 本体内可收纳真空泵,高品质的控制器、独立过升防止器,具 备优良的操作性和安全性。
● 停电时装置内保持真空,配备有真空泵油逆流防止的瞬停模式。
● 由于主阀采用了1英寸的大口径真空电磁阀,没有排气损失。
● 安装有自动/手动切换开关,紧急情况时可进行手动操作。
● 拥有自诊断回路(温度传感异常、加热器断线、自动过升防 止、SSR短路)、过升防止器、防止过电流的漏电保护开关、 按键锁等安全功能。
● 为安全起见,在观测窗上安装有树脂制成的保护面板。