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HORIBA D500压差式质量流量控制器

压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500 高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响

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功能特点技术参数资料下载使用说明书


· 压力不敏感性能
高性能压力补偿新功能简化了供气系统

· 多量程、多气体、多压力解决方案
新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围

· G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能
先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试,即使提高通过量,通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。

· 高精度
先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度

· 快速响应
响应时间:< 0.8 秒
可实现精确、稳定的流量控制

· 动态范围
控制范围广:0.2% 满量程 至 100% 满量程

 


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