· 压力不敏感性能
高性能压力补偿新功能简化了供气系统
· 多量程、多气体、多压力解决方案
新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围
· G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能
先进的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试,即使提高通过量,通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。
· 高精度
先进的三维调整功能提高了工艺气的流量精度
· 快速响应
响应时间:< 0.8 秒
可实现精确、稳定的流量控制
· 动态范围
控制范围广:0.2% 满量程 至 100% 满量程
HORIBA D500系列产品资料
压力不敏感型高性能质量流量控制器D500
畅销型号:D512MG、D522MG
流量范围100sccm-10SLM,精度±1%
特 征
· 压力不敏感性
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统
· 多量程,多气体,多种压力的解决方案
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
· G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)
先进G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力
· 高精度
先进的三维调节已改进工艺气体的流量精度
· 快速响应
响应速度<0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制
· 动态范围
控制范围:0.2% F.S. ~ 100% F.S.
技术参数: