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HORIBA SEC-Z700S系列 新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可以不受上流和下流压力的影响,提供稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

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功能特点技术参数资料下载使用说明书


● 确保 1% 设定点精度(流量≥5%)

● 高重复性(≤±0.15% 设定点/流量≥5%)

● 范围控制广(0.5-100% 满量程)

● 可调响应(300ms≤t≤1000ms)

● 高操作温度(15-60℃)

● 低阀座泄漏(≤0.1% 满量程/#01-#06)

● 高耐腐蚀性设计

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