• 消除与高流量共管的干扰  
• 高流量控制
• 超洁净
• 符合RoHS标准
• 适用于高端或中端的多种工艺

UR-Z700系列产品配备高精度压力传感器、高速压电陶瓷阀，通过外部控制信号自动进行压力控制。

• 消除与高流量共管的干扰  
• 高流量控制
• 超洁净
• 符合RoHS标准
• 适用于高端或中端的多种工艺

外形尺寸：

• HORIBA SEC-Z700S系列 新型压力补偿质量流量控制器

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