日本HORIBA LF系列质量流量计是一款专门测量微小液体的质量流量控制器。
1： LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 最大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296 为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
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名称 |
质量流量计 |
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|---|---|---|---|---|---|
|
型号 |
LF-F20M-A |
LF-F30M-A |
LF-F40M-A |
LF-F50M-A |
LF-F60M-A |
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全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
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检测控制范围 |
5-100%F.S. |
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对象液体种类 *1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
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液体粘度 *2 |
最大值. 0.1 Pa·s (100cp) |
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精度 *3 |
±1% F.S. |
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直线性 *3 |
±0.5% F.S. |
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重复性 *3 |
±0.5% F.S. |
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响应精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
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使用环境温度 *4 |
5-50℃ (15-45℃精度的确保) |
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温度影響 Span |
±0.1%F.S./℃最大值±1% |
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工作差压值值 *5 |
最大值. 5MPa (视为流量计) / 50-300kPa (with piezo 控制阀) |
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耐压 |
10MPa (视为流量计) |
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压力損失 |
最大值. 500Pa |
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流量设定信号 |
模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
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流量输出信号 |
模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
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驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA-15V ±5%, 200mA |
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外部泄漏规格 |
5×10-12Pa·m3/s(He) |
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接液部材质 |
SUS316L, Ni |
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标准接头 |
1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 |
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名称 |
质量流量控制器 |
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|---|---|---|---|---|---|
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型号 |
LV-F20 (PO/MO) |
LV-F30 (PO/MO) |
LV-F40 (PO/MO) |
LV-F50 (PO/MO) |
LV-F60 (PO/MO) |
|
全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
|
检测控制范围 |
5-100% F.S. |
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对象液体种类 *1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
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液体粘度 *2 |
最大值. 0.01 Pa·s (10cp) |
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精度 *3 |
±1% F.S. |
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直线性 *3 |
±0.5% F.S. |
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重复性 *3 |
±0.5% F.S. |
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响应精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
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使用环境温度 *4 |
5?50℃ (15- 45℃精度的确保) |
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温度影响Span |
±0.1%F.S./℃-最大值±1% |
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工作差压值 *5 |
0.05-0.3MPa |
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耐压 |
1MPa |
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压力损失 |
ー |
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流量设定信号 |
模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
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流量输出信号 |
模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
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驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA?-15 V ±5%, 200 mA |
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外部泄漏规格 |
PO 类型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa?m3/s (He) |
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接液部材质 |
PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA?MO 类型： SUS316L，Ni |
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标准接头 |
1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 |
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