多气体/多量程系统使用户可以自由更改气体类型或满量程流量。

• 控制范围广，从微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）

• 支持多种通信模式：数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 
• 高精度：+/- 1.0% 设定点 (*1)
• 1 秒高速响应（*1）
• 多气体/多量程功能

日本HORIBA SEC-N100质量流量控制器

概要

质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造。

SEC-N100 系列支持多气体/多量程系统使用户可以自由更改气体类型或满量程流量。

1. 控制范围广，从微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
2. 支持多种通信模式：数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 
3. 高精度：+/- 1.0% 设定点 (*1)
4. 1 秒高速响应（*1）
5. 多气体/多量程功能

外形尺寸

• 日本HORIBA STEC-N100系列 气体质量流量控制器 STEC-N112MGM STEC-N122MGM SEN-114MGM STEC-N124MGM

暂无记录