SEC-Z500X 质量流量控制器适用于各种应用以及半导体制造

• 高精度 ±1.0% 设定点
  该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。
• 高速响应
  装配“可变 PID 系统”，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 系数。
• 多气体/多量程解决方案
  配置软件可以快速方便地更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除质量流量控制器，即可进行更改。减少了所需的备用质量流量控制器的数量，节省时间和成本。

HORIBA SEC-Z500X 质量流量控制器适具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。
该质量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 设定点）、压电阀、高速响应和全金属特性，可提高制程良率，简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。

• 高精度 ±1.0% 设定点
  该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。
• 高速响应
  装配“可变 PID 系统”，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 系数。
• 多气体/多量程解决方案
  配置软件可以快速方便地更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除质量流量控制器，即可进行更改。减少了所需的备用质量流量控制器的数量，节省时间和成本。

主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以最大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)；

 SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

满量程流量

外形尺寸

畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。

可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。            

SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM属于SEC-500X系列，多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器 

• 质量流量控制器 HORIBA SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN

暂无记录